Μηχανή επίστρωσης με ψεκασμό με μαγνήτρο κενού

Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine

Μηχανή επίστρωσης με ψεκασμό με μαγνήτρο κενού

Αποστολή ερώτησής

Chat τώρα

Εισαγωγή προϊόντος

Μηχανή επίστρωσης με ψεκασμό με μαγνήτρο κενού

Προσδιορισμός

Το TOB-1100X-SPC-16Ο επιστρωτής επικάλυψης μαγνητρονίων M χρησιμοποιεί το φαινόμενο διασκορπισμού που παράγεται από βομβαρδισμό σωματιδίων του υλικού στόχου σε περιβάλλον κενού, το οποίο κάνει τα άτομα ή τα μόρια του υλικού στόχου να εκτοξεύονται από τη στερεά επιφάνεια, και η διαδικασία σχηματισμού μιας λεπτής μεμβράνης εναποτίθεται στο υπόστρωμα. Ανήκει στο παρασκεύασμα φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD) τεχνολογίας λεπτής μεμβράνης. Το TOB-1100X-SPC-16Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την προετοιμασία δειγμάτων ηλεκτρονικών μικροσκοπίων σάρωσης στο εργαστήριο και το συμπαγές μέγεθος του εξοπλισμού εξοικονομεί χώρο στο εργαστήριο. η λειτουργία είναι απλή και κατάλληλη για αρχάριους.

Χαρακτηριστικά

Είναι εξοπλισμένο με μετρητή κενού και μετρητή ρεύματος εκτόξευσης, που μπορεί να παρακολουθεί την κατάσταση λειτουργίας σε πραγματικό χρόνο.
Ρυθμίζοντας τον ελεγκτή ρεύματος εκτόξευσης και τη βαλβίδα αερίου μικροκενού, ελέγχει την πίεση του θαλάμου κενού, το ρεύμα ιονισμού και επιλέγει το απαιτούμενο αέριο ιονισμού για να επιτύχει το καλύτερο αποτέλεσμα επίστρωσης.
Ο ελαστικός δακτύλιος στεγανοποίησης στην άκρη του περιβλήματος του κουδουνιού είναι ειδικά σχεδιασμένος για να διασφαλίζει ότι το γυάλινο περίβλημα του κουδουνιού δεν θα θρυμματιστεί σε μακροχρόνια χρήση.
Τα εξαρτήματα ηλεκτροδίων υψηλής τάσης σφραγισμένα με κεραμικά είναι πιο ανθεκτικά από τα ελαστικά στεγανοποιητικά που χρησιμοποιούνται συνήθως.
Σύμφωνα με τα χαρακτηριστικά ιονισμού του αερίου στο ηλεκτρικό πεδίο, χρησιμοποιείται ένας θάλαμος κενού διασκορπισμού μεγάλης χωρητικότητας και μια αντίστοιχη περιοχή του στόχου διασκορπισμού για να γίνει το διασκορπισμένο στρώμα πιο ομοιόμορφο και καθαρό.
Η κεφαλή διασκορπισμού χρησιμοποιεί την τεχνολογία ψύξης Peltier για να αποκτήσει επιστρώσεις λεπτών σωματιδίων υψηλής απόδοσης.
Διατίθενται υδρόψυκτες κεφαλές εκτόξευσης και υδρόψυκτα τραπέζια μεταφοράς.

Ονομασία προϊόντος	Μηχανή επίστρωσης με ψεκασμό με μαγνήτρο κενού
Μοντέλο προϊόντος	TOB-1100X-SPC-16M
Κατάσταση Εγκατάστασης	Αυτός ο εξοπλισμός απαιτείται να χρησιμοποιείται σε υψόμετρο 1000 m ή λιγότερο, σε θερμοκρασία 25 ± 15 μοίρες και υγρασία 55% Rh±10% Rh. 1. νερό: ο εξοπλισμός πρέπει να είναι εξοπλισμένος με προαιρετική αυτό-κυκλοφορούμενη μηχανή ψύξης νερού (πλήρωση καθαρού νερού ή απιονισμένου νερού) 2. ηλεκτρική ενέργεια: AC220V 50Hz, πρέπει να έχει καλή γείωση 3. αέριο: ο θάλαμος εξοπλισμού που θα γεμίσει με αργό (καθαρότητα 99,99% ή περισσότερο), πρέπει να παρέχει τη δική του φιάλη αερίου αργού (με βαλβίδα μείωσης πίεσης) 4. Τραπέζι εργασίας: μέγεθος 600mm×600mm×700mm, φέρουσα 50kg ή περισσότερο. 5. Συσκευή εξαερισμού: δεν απαιτείται
Κύρια παράμετρος	1. Στόχος: Ø50mm
	2. Θάλαμος κενού: Ø160mm×120mm
	3. βαθμός κενού: Μικρότερο ή ίσο με 4×10-2mbar
	4, μέγιστο ρεύμα: 50mA (προαιρετικά 100mA)
	5. Μπορεί να οριστεί χρόνος ορίου: 9999s
	6. Βαλβίδα Micro vacuum: Συνδέστε τον εύκαμπτο σωλήνα Ø3mm
	7. οριακή τάση: 1600V DC
	8. μηχανική αντλία: 2L/s
	9. Υλικό στόχου: Απαίτηση μεγέθους:φ50mm×(0.1-0.5)mm(πάχος) Κατάλληλο για ψεκασμό Au, Ag, Cu και άλλα μέταλλα (διατίθεται στην εταιρεία μας)
	10. Μέγεθος: 360mm×300mm×380mm Συνολικό βάρος: 50 κιλά, καθαρό βάρος: 15 κιλά